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半导体超洁净清洗设备

Parts清洗（百级清洗）
1.集超声波清洗、超声波精洗、真空干燥于一体的超洁净清洗设备
2.通过超声波结合DIW&有机溶剂的冲洗技术，去除产品表面的有机杂质粘污
3.运用物理的方法采用机械擦除、结合兆声波冲洗去除微小颗粒物

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